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1楼
这是阿斯迈公司的软肋。
要达到极紫外EUV光刻机的5nm以下，此技术是关键。
2022年02月13日 15:25
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看中国网友
1-1楼
中国有了此技术极紫外光刻机会立刻突破。
2022年02月13日 15:28
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要达到极紫外EUV光刻机的5nm以下，此技术是关键。